东方晶源批量交付模式开启 电子束量测检测设备双箭齐发，赋能电子制造新篇章

在集成电路制造与先进封装领域，量测与检测设备是保障良率与性能的关键环节。国内电子束量测检测设备领军企业东方晶源宣布，其两款核心设备——电子束量测设备与电子束检测设备已成功交付新客户，标志着公司正式开启批量交付模式，为电子（气）物理设备及其他电子设备制造行业注入强劲动能。

技术突破引领批量交付

东方晶源此次交付的两款设备分别为High-Precision eBeam量测系统和Defect Review电子束检测系统。前者专注于关键尺寸（CD）与套刻精度的纳米级测量，后者则用于快速定位与分类晶圆表面的微小缺陷。两款设备均搭载了东方晶源自主研发的高亮度电子源、高精度运动平台及智能图像处理算法，在分辨率、吞吐量与稳定性上达到国际先进水平。批量交付意味着公司产品已通过严苛的产线验证，具备规模化供应能力，能够满足客户对高精度、高效率量测检测的迫切需求。

助力电子制造提质增效

电子（气）物理设备及其他电子设备制造涵盖从半导体晶圆、显示面板到光伏电池等多个领域，对工艺控制精度要求极高。东方晶源的电子束量测检测设备可广泛应用于光刻、刻蚀、薄膜沉积等关键工序后的质量监控，帮助客户实时捕捉工艺偏差、降低缺陷率、提升产品良率。此次交付的新客户为国内某知名电子器件制造商，其引入东方晶源设备后，有望在先进制程研发与量产中实现更短的回馈周期与更低的拥有成本（CoO）。

开启批量交付模式，深化产业布局

东方晶源相关负责人表示：“开启批量交付模式是公司发展的重要里程碑。我们已建立起从研发、制造到售后服务的完整体系，产能与品控能力显著提升。我们将持续加码电子束技术研发，拓展在更多电子制造细分场景的应用，并与产业链伙伴协同创新，推动国产高端量测检测设备走向全球。”

业内分析认为，随着集成电路工艺节点不断微缩与三维结构复杂化，电子束量测检测市场需求持续旺盛。东方晶源凭借核心技术自主可控与批量交付能力，有望加速国产替代进程，为电子（气）物理设备及其他电子设备制造行业的高质量发展提供坚实支撑。